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　　在光刻機研發領域，我國於核心技術攻堅方麵已獲關鍵突破。中科院上海光機所林楠團隊近期繞開美國主導的二氧化碳激光路徑，運用固體激光器技術成功研發出 LPP - EUV 光源，達國際頂尖水準。此成果衝破美歐對 EUV 光源的長期壟斷，為國產 EUV 光刻機研發築牢核心根基，意味著我國在這一 “卡脖子” 領域從 “跟隨” 步入 “並行” 階段。

　　盡管距離製造出具備先進水平的光刻機尚存一定差距，但我國龐大市場規模與強勁需求必然促使光刻機產業鏈在國內持續迅猛發展，眾多公司或將迎來機遇。

　　作為濕電子化學品領域的領軍企業，在半導體相關產業中占據重要地位。其主營超淨高純試劑以及光刻膠配套試劑，這些產品精準覆蓋半導體製造過程中的清洗、蝕刻等關鍵工藝環節。在客戶資源方麵，華融化學與中芯國際、華虹半導體等頭部企業建立了合作關係。

　　從業績表現來看，2024 年其營收成功突破 10 億元。而其四川子公司在 2025 年銷售收入預計將增長 30%，光刻膠相關業務在整體業務中的占比也將提升至 25%。華融化學的優勢顯著，它實現了全產業鏈布局，技術門檻頗高。在當前國產替代加速以及半導體材料需求回暖的大趨勢下，華融化學將從中受益良多。

　　國林科技旗下的子公司國林半導體，在半導體臭氧設備領域嶄露頭角。其臭氧設備產品自 2023 年開始進入半導體領域，主要應用於晶圓清洗和光刻膠去除工藝，這一成果填補了國內相關技術的空白。

　　在訂單方麵，2025 年第一季度其半導體業務訂單同比增長 180%，並且毛利率達到 45%，這一數據顯著高於傳統業務。國林科技的技術替代性很強，在政策支持的有利環境下，國產設備的滲透率正快速提升，國林科技無疑是這一趨勢的受益者。

　　飛凱材料堪稱光刻膠國產化的先鋒企業。其半導體級光刻膠已經進入中芯國際、長江存儲等重要客戶的驗證階段，預計在 2025 年下半年能夠實現量產，這一進展將打破日美在該領域的壟斷局麵。

　　此外，飛凱材料進行多元化布局，同步拓展顯示光刻膠和封裝材料業務。2024 年其淨利潤同比增長 120%，PCB 光刻膠的市場占有率在全球位居前三。飛凱材料的技術認證進度處於領先地位，在光刻膠漲價和需求爆發的雙重驅動下，其發展前景十分可觀。

　　江化微在濕電子化學品領域實現了全領域覆蓋，產品涵蓋光刻膠配套試劑、超淨高純試劑等，並且應用於 12 英寸晶圓製造。在客戶覆蓋方麵，包括京東方、華虹等企業。

　　江化微的四川基地於 2024 年投產，使得 G5 級試劑產能翻倍。2025 年其營收預計突破 12 億元，淨利潤同比增長 40%。江化微具有較高的技術壁壘，客戶粘性很強，是半導體材料國產替代進程中的核心標的企業。

　　海立股份旗下的控股子公司海立特冷，是光刻機冷卻係統的供應商，為上海微電子等廠商提供精密溫控設備，其技術能夠適配 EUV 光刻機的需求。

　　在業績表現上，2024 年前三季度淨利潤同比大增 125.69%。其新能源車熱管理業務與光刻機業務形成了協同效應。海立股份跨界技術整合能力出眾，受到政策與市場需求的雙重驅動。

　　蘇大維格作為納米光學技術領域的龍頭企業，向上海微電子供應光刻機定位光柵部件，其自研的激光直寫光刻機支持 100nm 製程，技術在國內處於領先地位。

　　在技術突破方麵，納米壓印光刻設備已經實現小批量生產，2025 年的目標是營收增長 50%。蘇大維格采用設備 + 材料雙輪驅動的發展模式，技術延展性強，並且擁有豐富的專利儲備。

　　炬光科技是光場勻化器的核心供應商，其產品應用於國產光刻機曝光係統，市場占有率達到 60%，技術對標德國通快。

　　在業績方麵，2025 年第一季度光刻機相關收入同比增長 200%，毛利率維持在 65% 以上，在手訂單已經覆蓋至 2026 年。炬光科技的技術獨家性突出，在國產光刻機量產提速的進程中將受益頗多。

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